Phenom ProX 電鏡能譜一體機同時具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點、線、面分析。原飛利浦**科學家 Karel.Mast 教授攜手 Phenom World 公司，**將電鏡和能譜在生產環節集成在一臺設備中，后期通過一個軟件平臺控制操作，用戶只需要熟悉一個軟件就能同時操控兩項功能，技術支持也變得相對簡單快速。

Phenom ProX 電鏡能譜一體榮獲 2012 年全球新產品獎，是掃描電鏡能譜行業的一個里程碑。亮度 10 倍于鎢燈絲 CeB6 燈絲不僅使 Phenom ProX 電鏡能譜一體機提供全世界**的臺式掃描電鏡分辨率，同時也使得表面元素分析更加準確快速。背散射電子圖像用不同的灰度呈現出不同的元素，Phenom ProX 配備的 SDD X 射線探頭，定性半定量探測 5-95 號元素的點、線、面分布。

Phenom ProX 電鏡能譜一體機具有飛納系列全自動操作、15 秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3 年更換燈絲等特點，無需防震環境，可放置在任意樓層，能譜無外接部件，無需液氮冷卻。

飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX 參數

光學顯微鏡：放大 20-135 倍

電子顯微鏡：350,000 倍

探測器：高靈敏度四分割背散射電子探測器

燈絲材料：1,500 小時 CeB6 燈絲

分辨率：優于 6 nm

放置環境：采用專業防震設計，可擺放于普通實驗室或辦公室、廠房

加速電壓：5kV-15kV 連續可調

抽真空時間：小于 15 秒

探測元素范圍：B（5）- Am（95）號元素

能譜探測器：硅漂移探測器（SDD）

冷卻方式：無液氮 Peltier 效應電制冷

Phenom ProX 電鏡能譜一體機可選配所有的樣品杯選件和所有的拓展功能軟件選件。

顆粒統計分析測量系統

顆粒統計分析測量系統軟件可以輕松獲取、分析圖片，并生成報告。借助該軟件，用戶可以收集到大量亞微米顆粒的形貌和粒徑數據。憑借遠超光鏡的放大倍數，顆粒軟件全自動化的測量，可以把工業粉末的設計、研發和品管提升到一個新臺階。

借助顆粒系統軟件，用戶可隨時獲得數據。因此，它加快了分析速度，并提高了產品質量。

臺式掃描電鏡在粉末冶金領域的應用

1. 粉體形貌、粒度觀察（<10000×，低壓SED）

2. 粉體粒度統計（使用飛納電鏡軟件-顆粒統計分析測量系統）

3. 燒結件缺陷檢查（使用飛納電鏡軟件-超大視野自動全景拼圖）

4. 成品表面質量檢查+雜質判定（掃描電鏡+能譜）

5. 脫脂前后形貌觀察

低倍下的二次電子形貌可以看到：金屬粉末呈現出大大小小的粒度差異，可以通過自帶的測量工具進行測量

130 X

255 X

金屬粉體粒度統計功能

涂彩色的顆粒表示被選中并識別的顆粒

顆粒粒徑分布柱狀圖

顆粒粒徑和圓度的關系散點圖

顆粒粒形分析界面

復納科學儀器 (上海) 有限公司 (Phenom-Scientific)，負責荷蘭飛納臺式掃描電鏡在中國市場的推廣和銷售，提供專業的技術支持和測試服務，飛納中國擁有專業的服務團隊，提供優化的解決方案；飛納中國提出飛納學校 （Phenom University）的概念，為用戶提供從掃描電鏡基礎理論到 Level 5 應用工程師的進階培訓，在上海、北京、廣州設立了測試中心和售后服務中心，目前飛納在中國已經擁有超過 1000 名用戶。